1、射頻濺射沉積的薄膜均勻性和致密性要優(yōu)于直流濺射沉積的薄膜。
2、在不同條件下用射頻濺射方法制備了氮化碳薄膜。
3、采用射頻濺射制備薄膜，研究了薄膜的介電擊穿特性。
4、利用磁控射頻濺射技術(shù)制備了薄膜。?
5、在不同的襯底溫度下用射頻濺射方法制備了氮化碳薄膜。
6、用射頻濺射的方法制備得的釓鈷膜具有垂直于膜面的單軸各向異性。
7、采用磁控射頻濺射法制備光波導用玻璃薄膜。
8、為改善射頻濺射法制備的防水透濕涂層的外觀(guān)和拒水性，對滌綸織物基底上的濺射氟碳高分子膜的泛黃問(wèn)題進(jìn)行了研究。